多层HgCdTe异质外延材料的热退火应力分析

• 作者: 何力 沈川 陈路 顾仁杰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 碲化镉钝化层 热退火 位错 应力
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 122-127
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2+5
• 字数: 3316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2013.00122

摘要

前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒易空间分析,解释了CdTe钝化层对HgCdTe位错抑制的影响作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何力	中国科学院上海技术物理研究所红外材料与器件重点实验室	54	417	13.0	17.0
2	陈路	中国科学院上海技术物理研究所红外材料与器件重点实验室	14	27	4.0	4.0
3	沈川	中国科学院上海技术物理研究所红外材料与器件重点实验室	3	2	1.0	1.0
7	顾仁杰	中国科学院上海技术物理研究所红外材料与器件重点实验室	2	7	1.0	2.0