HgCdTe分子束外延薄膜的应变弛豫

• 作者: 何力 刘从峰 巫艳 方维政 杨建荣 王元樟 王庆学 魏彦锋
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: HgCdTe Cd1-yZnyTe衬底 倒易点二维图 失配位错 摇摆曲线半峰宽
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 325-328,332
• 页数: 5页
• 分类号: O47|O77
• 字数: 3845字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.05.002

摘要

对不同衬底上外延生长的HgCdTe薄膜进行了倒易点二维图测试,分析了外延层与衬底之间的结构取向关系以及晶格常数的失配现象.通过测定Cd1-yZnyTe衬底上的HgCdTe外延层的应变弛豫状况,获得了晶格匹配条件时衬底Zn组分的准确值.实验结果还表明: HgCdTe外延层与晶格失配的衬底之间存在着倾角,该倾角随失配度的增大而增大;当衬底失配度较小时,非对称倒易点二维图显示外延层并不处于全应变状态,而是处于应力部分释放状态;相反,当外延层晶格失配产生的应力全部释放时,外延层包含着较大的失配位错,摇摆曲线半峰宽展宽较大.