LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究

• 作者: 孙敏 张金凤 郑佳晶
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石晶片 净化工艺 清洗剂 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 清洗技术与设备
• 页码范围: 8-10,58
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2935字
• 语种: 中文

摘要

介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙敏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	34	4.0	4.0
2	张金凤	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	28	4.0	4.0
3	郑佳晶	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	10	2.0	3.0