基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响

• 作者: 代明江 侯惠君 陈明安 韦春贝 龚才
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空阴极电弧离子镀 TiN薄膜 液滴 膜/基结合力
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 27-33
• 分类号: TG174.444|O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.01.005

摘要

采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5 MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜.利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征.结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸存在明显的区别.其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少；薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金＞H13钢＞304不锈钢＞TC4钛合金.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明安	中南大学材料科学与工程学院	75	1052	19.0	30.0