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Electro-Mechanical Phase Shifters Based on MEMS Structure
Electro-Mechanical Phase Shifters Based on MEMS Structure
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摘要：
推荐文章
基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为表征
纳米压入
力学性能
尺度效应
高分子聚合物
纳米材料
形状记忆合金
厚度对MEMS换能元薄膜电阻率的影响研究
MEMS换能元
金属薄膜
尺度效应
电阻率
MEMS可靠性与失效分析
微电子机械系统
失效模式
可靠性
失效分析
MEMS器件建模与仿真分析方法研究
微机电系统
宏模型
微梁
仿真
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
| 篇名 | Electro-Mechanical Phase Shifters Based on MEMS Structure | ||
| 来源期刊 | 机械工程与自动化：英文版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | MEMS结构 微机电系统 模拟移相器 计算机模拟技术 尺寸设计 自动切换 微波工作室 优化技术 | ||
| 年，卷（期） | 2013,（7） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 421-423 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN402 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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MEMS结构
微机电系统
模拟移相器
计算机模拟技术
尺寸设计
自动切换
微波工作室
优化技术
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械工程与自动化：英文版
主办单位：
美国大卫出版公司
出版周期：
月刊
ISSN：
2159-5275
CN：
开本：
出版地：
武汉洪山区卓刀泉北路金桥花园C座4楼
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
651
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