光学元件离子束抛光去除特性研究

• 作者: 王永刚 王鹏 肖正航
• 来源期刊: 航天制造技术
• 关键词: 去除特性 三轴离子束系统 归一化去除效率
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 字数: 1830字
• 语种: 中文

摘要

针对微晶玻璃材料系统研究了加工时间、作用距离以及入射角度对去除函数的影响。实验及分析结果表明：加工时间及作用距离与去除效率呈线性关系；随着入射角的增大，理论与实际去除率偏差也随之增大，在入射角为0o～60o时，去除率偏差值变化范围为1.43%至3.38%，总体上仍小于5%的误差指标，满足非球面离子束超精密抛光的需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鹏		11	34	3.0	5.0
2	王永刚		9	26	3.0	5.0
3	肖正航		6	25	3.0	5.0