MEMS热膜式微流量传感器

• 作者: 何秀丽 侍艳华 李建平 贾建 高晓光
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微流量传感器 热膜式 温度补偿 Pt薄膜电阻
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 434-441
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.07.006

摘要

针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器.研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响.当热敏电阻间距为200 μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时,微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,灵敏度约为299 mV/(mL/min).微流量传感器气体流量理论检测下限约为1.7 μL/min,在气体流量为6 μL/min时,响应时间(90％)和恢复时间(90％)分别为16和34 ms.研究了微流量传感器温度补偿方法,消除了环境温度对灵敏度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	侍艳华	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	9	1.0	1.0