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X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数
X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数
作者:
吕海兵
吴东
孙菁华
徐耀
袁晓东
贾红宝
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
溶胶-凝胶
二氧化锆
X射线反射法
椭偏光谱法
摘要:
采用溶胶-凝胶法在硅片基底上制备ZrO2薄膜,在150℃~750℃范围内不同温度下进行热处理,研究了热处理对膜层结构和光学性能的影响.X射线反射用于膜层厚度和界面粗糙度分析,结果表明热处理温度由150℃升至750℃,膜层厚度由常温状态下的112.3nm减小到34.0nm,表面和界面粗糙度均小于2nm.以X射线反射法测得的膜层厚度为初始值,对椭圆偏振仪的测量结果进行拟合,得到不同温度的膜层折射率,结果表明热处理温度为550℃时膜层折射率达到最大值.X射线反射作为直接的膜层厚度测试手段,所得结果为准确分析椭偏光谱提供了参考.
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文献信息
篇名
X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数
来源期刊
材料科学与工程学报
学科
物理学
关键词
溶胶-凝胶
二氧化锆
X射线反射法
椭偏光谱法
年,卷(期)
2013,(1)
所属期刊栏目
研究论文
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二氧化锆
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椭偏光谱法
研究起点
研究来源
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期刊影响力
材料科学与工程学报
主办单位:
浙江大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-2812
CN:
33-1307/T
开本:
大16开
出版地:
浙江杭州浙大路38号浙江大学材料系
邮发代号:
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
4378
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9
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