硬质纳米复合薄膜的热稳定性、抗氧化性与韧性

• 作者: 金德里奇·缪塞尔
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米复合薄膜 硬度与韧性 热稳定性 抗氧化性能 抗断裂性能 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 境外论文
• 页码范围: 1-18
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.04.001

摘要

综述了纳米复合薄膜的硬度增强特性和热稳定性、在高温条件下(≥1 000℃)的抗氧化性和热稳定性、在X射线下呈非晶态的薄膜在高温条件下的热稳定性、以及具有高韧性新型硬质纳米复合薄膜的相关性能.这些新型高韧性硬质纳米复合薄膜具有较低的等效弹性模量E*(H/E*＞0.1),高弹性恢复系数(We≥60％0),优异的摩擦学性能,以及良好的抗断裂能力.等效弹性模量E*=E(1-v2),E为弹性模量,v为泊松比.