PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜

• 作者: 张俊彦 张斌 曹忠跃 魏利
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子增强化学气相沉积 碳氢薄膜 六方金刚石 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 55-59
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.04.008

摘要

利用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在单晶硅(100)表面上制备了一层含有六方金刚石结构的碳氢薄膜.采用透射电子显微镜和拉曼光谱仪对薄膜结构进行表征；并用Nano-indenterⅡ型纳米压痕仪和CSM摩擦磨损试验机对薄膜的力学性能和摩擦学性能进行了测试.结果表明:该碳氢薄膜含有六方金刚石结构,另外还含有少量的纳米弯曲石墨片段；与制备的类金刚石碳氢薄膜相比,该薄膜具有较好的力学性能,同时该薄膜在空气环境下表现出了较好的摩擦学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	201	3903	35.0	56.0
2	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	59	707	12.0	25.0
3	曹忠跃	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	3	13	1.0	3.0
7	魏利	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	2	12	1.0	2.0