功率器件IGBT槽栅设计尺寸对直流参数影响的研究

• 作者: 刘慧勇 刘琛 范伟宏 闻永祥 顾悦吉
• 来源期刊: 中国集成电路
• 关键词: 绝缘栅晶体管 工艺 槽栅尺寸 直流参数
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与器件
• 页码范围: 65-69
• 页数: 5页
• 字数: 2397字
• 语种: 中文

摘要

IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一.本文首先简要介绍IGBT及历代器件工艺的发展,提出了一种槽栅IGBT的工艺流程,并研究了其槽栅设计尺寸对器件主要直流参数的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闻永祥	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	10	14	2.0	3.0
2	范伟宏	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	3	7	2.0	2.0
3	顾悦吉	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	5	9	2.0	3.0
4	刘琛	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	5	11	2.0	3.0
5	刘慧勇	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	3	9	2.0	3.0