DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计

• 作者: 赵雪峰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅铸锭炉 加热器 热场改进
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TF806
• 字数: 2467字
• 语种: 中文

摘要

在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下，对多晶硅铸锭炉进行了研究调查，通过对多晶硅铸锭炉结构进行改进，对热场等关键部位进行了重新的开发设计，提高了单炉单次的生产量，满足生产要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵雪峰	中国电子科技集团公司第二研究所	6	9	2.0	2.0