基于视觉对准的非硅MEMS微小型结构件微装配系统

• 作者: 周智 唐永龙 张之敬 张晓峰
• 来源期刊: 兵工自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 非硅MEMS 微小型结构 微装配 摄像机标定
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 79-81,84
• 页数: 4页
• 分类号: TP242
• 字数: 2739字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7690/bgzdh.2013.05.021

摘要

为满足非硅MEMS微小型结构件的高精度柔性装配需求，设计一种基于正交光路分时成像视觉对准的机器人串行微装配系统。介绍目前微小型结构、非硅MEMS和机器人微装配系统的发展概况，给出其总体结构组成及典型装配过程，重点分析视觉对准系统摄像机标定方法，对标定误差进行分析，最后对装配系统进行非硅MEMS典型零件装配实验分析。结果表明：所设计的装配系统视觉系统检测精度≤5.5μm，能满足一般精度的非硅MEMS微小型结构件装配要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张之敬	北京理工大学机械与车辆学院	124	825	13.0	22.0
2	张晓峰	北京理工大学机械与车辆学院	6	25	4.0	5.0
3	周智	北京理工大学机械与车辆学院	1	4	1.0	1.0
4	唐永龙	北京理工大学机械与车辆学院	2	14	2.0	2.0