基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法

• 作者: 张铁 邝健麟
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 缺陷检测 机器视觉 模板 Blob算法
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 1555-1560
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 字数: 3539字
• 语种: 中文

摘要

针对石英晶片的外观缺陷检测技术的不足,提出一种基于机器视觉开发软件对石英晶片外观缺陷检测方法,对石英晶片生产过程中出现的外观缺陷进行了分析,提出了缺陷检测的流程,建立了基于几何特征的模板定位算法和基于Blob算法的缺陷分析算法,实现了对图像的获取、边缘检测、定位、识别和斑点分析,在C#环境下对其图像处理技术利用机器视觉软件进行了开发,搭建了石英晶片的外观缺陷检测实验平台,通过摄像机实现了石英晶片的外观图像的捕获,利用视觉软件获得石英晶片的外观质量,最后对此系统进行了测试.实验表明:该石英晶片外观缺陷检测方法具有检测速度快、精确度达到99.7％、匹配误差小于0.3等优点,可满足现场使用的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张铁	华南理工大学机械与汽车工程学院	155	1469	19.0	29.0
2	邝健麟	华南理工大学机械与汽车工程学院	1	5	1.0	1.0