热处理和掺铝量对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜光电性能的影响

• 作者: 周炳卿 张丽丽 张林睿 李海泉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 AZO薄膜 光电性能
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 页码范围: 2270-2274,2279
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3602字
• 语种: 中文

摘要

以(CH3COO)2Zn·2H2O和AlCl3·6H2O为前驱物,以普通玻璃为基底利用溶胶-凝胶旋转涂膜法制备AZO薄膜.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等对AZO薄膜的物相组分、表面形貌、透射率和方块电阻进行测量与表征,并研究了热处理温度和掺铝量对AZO薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明:AZO薄膜的结构和光电性能与不同的热处理温度和掺铝量有关,实验得到了最佳的工艺条件为热处理温度为500℃,热处理时间为60 min,掺Al溶度为1mol％,镀膜层数为8层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳卿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	45	134	6.0	8.0
2	李海泉	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	9	21	3.0	4.0
3	张丽丽	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	11	27	3.0	4.0
4	张林睿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	16	48	4.0	5.0