多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构

• 作者: 代全 吴美乐 揣荣岩 白羽 靳晓诗
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 多晶硅纳米膜 压阻式 超薄微梁 谐振频率
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3,15
• 页数: 4页
• 分类号: TN61|TN65
• 字数: 3272字
• 语种: 中文

摘要

随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用.但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾.为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构.这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	揣荣岩	沈阳工业大学信息科学与工程学院	31	90	5.0	8.0
2	代全	沈阳工业大学信息科学与工程学院	3	10	2.0	3.0
3	白羽	沈阳工业大学信息科学与工程学院	1	3	1.0	1.0
4	吴美乐	沈阳工业大学信息科学与工程学院	1	3	1.0	1.0
5	靳晓诗	沈阳工业大学信息科学与工程学院	5	5	2.0	2.0