室温沉积Cu/ZnO薄膜的光电性能的研究

• 作者: 丁玲红 张伟风 张新安 李国强 王昊午
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: Cu/ZnO 磁控溅射 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 131-133
• 页数: 3页
• 字数: 3662字
• 语种: 中文

摘要

以ZnO陶瓷靶和金属Cu靶为基础在室温条件下利用直流磁控溅射和射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了ZnO/Cu多层透明导电薄膜.通过改变溅射金属Cu层的时间等工艺参数,并采用紫外-可见-近红外(UV-Vis-NIR)分光光度计和霍尔测试仪对ZnO/Cu多层结构薄膜的光电性质等进行了分析和研究.ZnO/Cu多层透明导电薄膜的导电性随金属层溅射时间增加有很大的提高,从薄膜的透射谱中发现,Cu层的引入降低了多层结构的可见光透光率.随着多层结构薄膜载流子浓度的增加薄膜的光学带隙Eg下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁玲红	河南省光伏材料重点实验室河南大学物理与电子学院	7	30	4.0	5.0
2	张伟风	河南省光伏材料重点实验室河南大学物理与电子学院	9	40	4.0	5.0
3	李国强	河南省光伏材料重点实验室河南大学物理与电子学院	12	14	2.0	2.0
4	王昊午	河南省光伏材料重点实验室河南大学物理与电子学院	1	2	1.0	1.0
8	张新安	河南省光伏材料重点实验室河南大学物理与电子学院	1	2	1.0	1.0