20nm以后的集成电路技术

• 作者: 王震宇
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 20nm 集成电路
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 196
• 分类号: TN405
• 字数: 1925字
• 语种: 中文

摘要

集成电路进入20nm以后,FinFET,EUV,450mm晶圆,3DIC等新技术不断涌现.同时为了与这些先进技术相匹配,芯片设计人员也要改变原有理念,用DFP, DFM, DFA,和DFC的新概念指引设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王震宇	上海交通大学微电子学院	8	65	5.0	8.0