活性炭的预处理对低温泵工作性能的影响

• 作者: 周家屹 徐中堂 武义锋 程春 许令顺
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 低温泵 活性炭 抽气速率 极限真空
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: TB752+.53
• 字数: 2291字
• 语种: 中文

摘要

低温泵是利用低温吸附而达到获取真空的装置。与其他真空获取设备相比，其具有无油、低振动等优势。活性炭是低温泵常用的一种吸附剂，其对低温泵的工作性能起着关键性的作用。根据真空度的需求，一般要求低温泵对氢的抽速较大。这就需要适合于氢的吸附的活性炭。椰壳活性炭的孔隙大小对氢的吸附比较适合。本文首先对活性炭进行了预处理，用扫描电子显微镜和低温吸附仪对其结构和吸附性能进行了表征，并将其用于低温泵的吸附镇，发现安装了经过处理活性炭的低温泵其抽气速率和极限真空都有一定的提高。