光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究

• 作者: 王怡影 申远 竺长安 齐向东
• 来源期刊: 中国科学技术大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅刻划机 精密定位 BP神经网络 PID控制
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 信息与电子科学
• 页码范围: 165-170
• 页数: 6页
• 分类号: TP274
• 字数: 3070字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2778.2014.02.013

摘要

对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID控制方法用于光栅刻划机定位系统控制,利用神经网络的自学习实时调节PID控制参数,实现精密定位的自适应控制.通过控制实验,稳定地获得了5 nm以内的定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	竺长安	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	120	870	16.0	23.0
2	申远	合肥师范学院电子信息工程学院	10	96	6.0	9.0
4	王怡影	合肥师范学院电子信息工程学院	11	24	3.0	4.0
7	齐向东		2	24	2.0	2.0