溶液法制备氧化铝介质层的非晶铟锌氧化物薄膜晶体管

• 作者: 庞抒见 张群 浦海峰
• 来源期刊: 复旦学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝 介质层 薄膜晶体管 旋涂法
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 758-763
• 分类号: TN386.2
• 语种: 中文

摘要

采用旋涂法制备了氧化铝栅介质层薄膜.通过XRD和AFM分析表征了薄膜的结晶性和表面平整性.分光光度计测试表明薄膜在可见光范围的平均透射率大于85％.采用MIM结构研究其漏电流密度,在电场强度为1 MV/cm时仅为3×10-9 A/cm,表明可以用作栅介质层.以旋涂法涂覆的α-IZO薄膜为沟道层、旋涂法涂覆的氧化铝为介质层,制备了底栅结构的氧化物薄膜晶体管.测试表明该薄膜晶体管工作在n型沟道增强型模式,器件场效应迁移率为1.4cm2/(V·s),电流开关比约为105,阈值电压为2.2V,显示出相对较好的器件性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张群	复旦大学材料科学系	110	917	15.0	24.0
2	庞抒见	复旦大学材料科学系	1	1	1.0	1.0
3	浦海峰	复旦大学材料科学系	2	1	1.0	1.0