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蓝宝石衬底铜抛-CMP加工技术
蓝宝石衬底
化学机械抛光
表面质量
工艺优化
蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究
磁控反应溅射
蓝宝石
氮化硅薄膜
性能
湿法腐蚀制备 GaN LED 蓝宝石图形衬底的工艺方法研究
蓝宝石图形衬底
湿法腐蚀
腐蚀速率
GaN L ED
蓝宝石衬底上PECVD生长石墨烯及其气敏传感器
石墨烯
吸附
测量
甲醛
曝气
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 2014年蓝宝石衬底供需可望达到平衡
来源期刊 电子工业专用设备 学科
关键词
年,卷(期) 2014,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 64-64
页数 1页 分类号
字数 439字 语种 中文
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期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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31
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