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超精密伺服系统控制与应用
超精密伺服系统控制与应用
作者:
刘鹏博
张震
郭雷
闫鹏
原文服务方:
控制理论与应用
超精密伺服系统
微纳操控
鲁棒控制
抗干扰控制
内模控制
摘要:
随着智能微纳器件和高性能数字系统的飞速发展,超精密伺服技术已逐步成为信息存储、精密成像、半导体装备等新兴行业的核心技术.本文从微纳操控领域的设计和控制问题着手,首先介绍了超精密伺服系统的设计及分析方法,进而阐述了超精密伺服系统对控制理论提出的诸多挑战.特别针对这类系统中广泛存在的模型不确定性及高阶未建模动态特性,非线性迟滞特性及执行机构饱和非线性,多源复杂干扰并存情况的抗干扰控制问题,以及面向复杂轨迹的高精度跟踪控制问题,给出了具有代表性的控制算法和应用实例.本文最后以高精度直写式真空蒸发系统为例,介绍了超精密伺服技术在现代精密仪器设备中的重要应用.
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篇名
超精密伺服系统控制与应用
来源期刊
控制理论与应用
学科
关键词
超精密伺服系统
微纳操控
鲁棒控制
抗干扰控制
内模控制
年,卷(期)
2014,(10)
所属期刊栏目
复杂系统建模与控制专题
研究方向
页码范围
1338-1351
页数
14页
分类号
TP273
字数
语种
中文
DOI
10.7641/CTA.2014.31313
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
闫鹏
北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院
27
192
8.0
13.0
3
张震
清华大学机械工程系
13
309
5.0
13.0
5
郭雷
北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院
25
173
7.0
12.0
10
刘鹏博
山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室
2
27
2.0
2.0
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二级引证文献(4)
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引证文献(6)
二级引证文献(10)
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引证文献(3)
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2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
超精密伺服系统
微纳操控
鲁棒控制
抗干扰控制
内模控制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
控制理论与应用
主办单位:
华南理工大学
中国科学院数学与系统科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-8152
CN:
44-1240/TP
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1984-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
4979
总下载数(次)
0
总被引数(次)
72515
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