原文服务方: 控制理论与应用       
摘要:
随着智能微纳器件和高性能数字系统的飞速发展,超精密伺服技术已逐步成为信息存储、精密成像、半导体装备等新兴行业的核心技术.本文从微纳操控领域的设计和控制问题着手,首先介绍了超精密伺服系统的设计及分析方法,进而阐述了超精密伺服系统对控制理论提出的诸多挑战.特别针对这类系统中广泛存在的模型不确定性及高阶未建模动态特性,非线性迟滞特性及执行机构饱和非线性,多源复杂干扰并存情况的抗干扰控制问题,以及面向复杂轨迹的高精度跟踪控制问题,给出了具有代表性的控制算法和应用实例.本文最后以高精度直写式真空蒸发系统为例,介绍了超精密伺服技术在现代精密仪器设备中的重要应用.
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文献信息
篇名 超精密伺服系统控制与应用
来源期刊 控制理论与应用 学科
关键词 超精密伺服系统 微纳操控 鲁棒控制 抗干扰控制 内模控制
年,卷(期) 2014,(10) 所属期刊栏目 复杂系统建模与控制专题
研究方向 页码范围 1338-1351
页数 14页 分类号 TP273
字数 语种 中文
DOI 10.7641/CTA.2014.31313
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 闫鹏 北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院 27 192 8.0 13.0
3 张震 清华大学机械工程系 13 309 5.0 13.0
5 郭雷 北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院 25 173 7.0 12.0
10 刘鹏博 山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室 2 27 2.0 2.0
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超精密伺服系统
微纳操控
鲁棒控制
抗干扰控制
内模控制
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相关学者/机构
期刊影响力
控制理论与应用
月刊
1000-8152
44-1240/TP
大16开
1984-01-01
chi
出版文献量(篇)
4979
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72515
论文1v1指导