磁控溅射AZO薄膜表面形貌的探讨与优化

• 作者: 李晓东 邵世强
• 来源期刊: 建筑玻璃与工业玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 磁控溅射法 表面形貌 优化 光电转换效率 电学性能 导电玻璃 化学蚀刻
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 页码范围: 9-10
• 页数: 2页
• 分类号: TM914.4

摘要

本文主要探讨利用磁控溅射法获得优良光学和电学性能的AZO薄膜，并研究优化的湿化学蚀刻方法获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃，用于提高非晶硅薄膜电池的光电转换效率。