高精密滚转角测量干涉仪

• 作者: 乐燕芬 侯文玫 时凯 胡凯 钟朝阳
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 滚转角 外差干涉仪 偏振分光
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 所属期刊栏目: 仪器科学与技术
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: TH712
• 字数: 5287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2014.22.022

摘要

现有的各种激光干涉仪可以方便地测量围绕垂直于直线位移方向的两个转角偏移，但是对于围绕运动轴的滚转角偏移，特别是对于大行程运动，缺乏有效的测量方法。针对各种高精密直线运动定位装置，设计一个新型的差分平面干涉仪，并采用一个楔面棱镜和楔面反射镜，组合成为一个几何空间对称四光路系统，构成新型的高精密滚转角激光干涉测量仪。它不需要与行程同长的大反射参考镜，但同样能实现高分辨率，而且简便实用，可以直接溯源米定义。试验证明，几何空间对称四光路滚转角干涉测量仪能够有效地排除其他自由度运动的干扰，利用它可以快速高效地测量各种精密直线位移运动的滚转角。使用普通的2π/360细分相位计，测量分辨率为1.1″，若使用2π/36000的高精密细分相位计，滚转角的测量分辨率可达到0.01″。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯文玫	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	29	131	6.0	10.0
2	乐燕芬	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	44	150	7.0	10.0
3	胡凯	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	6	22	3.0	4.0
4	钟朝阳	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	3	10	2.0	3.0
5	时凯	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	2	15	2.0	2.0