超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析

• 作者: 余东东 朱煜 李鑫 杨开明 蒋毅
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多输入多输出系统 动力学建模 位置相关耦合 力相关耦合
• 年，卷（期）: 2014,（30）
• 所属期刊栏目: 电工理论与新技术
• 页码范围: 5451-5457
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 字数: 4440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13334/j.0258-8013.pcsee.2014.30.024

摘要

多输入多输出(multi-input multi-output，MIMO)运动控制系统中，自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此，为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度，需要从控制对象内部的耦合机理出发，建立耦合模型，并在此基础上建立动力学模型，实现系统内部的力学解耦。该文研究对象是一种无接触式六自由度微动台，此微动台有8个洛伦兹电机提供驱动力，且竖直方向具有重力平衡装置。基于微动台的结构模型和控制要求，建立了2类主要耦合模型：位置相关耦合和力相关耦合。其中，位置相关解耦连接控制点到质心，力相关解耦连接质心到各驱动力。最后进行了实验验证，实验结果证明了动力学模型的可行性和有效性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李鑫	摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系	2	11	2.0	2.0
2	杨开明	摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系	2	11	2.0	2.0
3	朱煜	摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系	2	11	2.0	2.0
4	蒋毅	摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系	1	8	1.0	1.0
5	余东东	摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系	1	8	1.0	1.0