多功能Parylene膜化学气相沉积系统设计

• 作者: 唐贤臣 段建国 谢金华 陈慧
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: Parylene 真空化学气相沉积 多功能
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 所属期刊栏目: 设计与装备
• 页码范围: 137-138
• 页数: 2页
• 分类号: TH
• 字数: 1923字
• 语种: 中文

摘要

分析了一般真空化学气相沉积制备Parylene膜系统的原理、组成和局限性.在通用系统的基础上,设计了一种能满足多种需求,具备多种功能的Parylene膜真空气相沉积系统.该系统能直接控制原料进入裂解炉的速率,控制基体的温度,配置的高真空单元可以对基体进行除气处理,差分四极质谱单元可以实时分析成膜过程中气体成分变化,采用O'hanlon方法可以计算气体的抽速.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢金华		6	6	2.0	2.0
2	陈慧		5	5	2.0	2.0
3	段建国		5	4	1.0	2.0
4	唐贤臣		13	38	4.0	6.0