磁控溅射沉积ZnNi合金薄膜及真空脱锌

• 作者: 徐前刚 李明佳
• 来源期刊: 沈阳航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脱锌 ZnNi合金薄膜 真空热处理 多孔结构
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 50-54
• 页数: 5页
• 分类号: TB31|V261.2
• 字数: 3039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1248.2015.01.009

摘要

采用射频磁控溅射沉积方法制备了不同成分的ZnNi合金薄膜,并研究了真空热处理对其成分及表面形貌的影响.研究结果表明,在单靶溅射沉积ZnNi合金薄膜中,通过调节靶材锌镍面积比可以获得不同成分且分布均匀的ZnNi薄膜.经过600℃、60 min、真空度为4×10-3 Pa,真空热处理之后的薄膜中的锌完全蒸发,剩下的镍薄膜呈多孔结构,微孔尺寸在100 nm至500 nm之间.随着薄膜锌含量的增加,真空热处理后薄膜表面孔隙率增大.随着真空热处理温度的升高,微孔尺寸增大.结合溅射沉积理论及元素蒸发理论对ZnNi薄膜沉积及真空脱Zn进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐前刚	沈阳航空航天大学材料科学与工程学院	14	38	4.0	6.0
2	李明佳	沈阳航空航天大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0