刀具形状对单晶硅纳米加工的影响研究

• 作者: 于峰 史立秋 李小海 谢佳欣
• 来源期刊: 佳木斯大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学 纳米加工 刀具 表面质量
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 423-425
• 页数: 3页
• 分类号: TG501.1
• 字数: 1785字
• 语种: 中文

摘要

刀具的性能影响着工件表面质量的好坏，因此本文采用分子动力学方法，借助LAMMPS分子模拟软件和VMD可视软件来模拟三种不同刀具下单晶硅纳米加工过程，并截取瞬时图像来观察刀具形状对加工过程的影响。比较后发现球形和圆锥形刀具加工的表面质量要优于矩形刀具。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于峰	佳木斯大学教务处	69	174	6.0	9.0
2	史立秋	佳木斯大学机械工程学院	40	122	6.0	9.0
3	谢佳欣	佳木斯大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
4	李小海	佳木斯大学机械工程学院	41	97	6.0	7.0