VHF频段三角形微机电谐振器的分析与设计

• 作者: 徐淑壹 李宁 贾英茜 高彦彦
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振器 ANSYS 微机电 动态电阻 品质因数 阵列
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN815
• 字数: 3844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.02.010

摘要

设计了一种工作于VHF频段的新型微机电谐振器，采用了一种以阵列方式降低谐振器动态电阻的方法，通过ANSYS有限元分析软件对谐振器进行模态分析。结果表明，与减小换能电容间隙和增大偏置电压相比，采用的方法可以减小动态电阻，增大功率容量，谐振器阵列可以在保证谐振频率不变的情况下提高品质因数、减少损耗、降低动态电阻。设计的谐振器与谐振器阵列的工作频率为123 MHz。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐淑壹	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	4	1.0	2.0
2	贾英茜		22	28	3.0	4.0
3	李宁		11	22	3.0	3.0
4	高彦彦		5	2	1.0	1.0