循环氩离子轰击对磁控溅射铝膜结构和性能的影响

• 作者: 代明江 侯惠君 林松盛 石倩 胡芳 赵利
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 钕铁硼 氩离子轰击 界面 耐腐蚀
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 49-55
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.008

摘要

为了提高烧结钕铁硼永磁材料的耐腐蚀性能,采用磁控溅射技术在钕铁硼表面制备了厚度约为14.0 μm的铝膜,使用循环氩离子轰击铝膜的方法制备了3个周期的多层铝膜.利用扫描电子显微镜(SEM)观察铝膜的表面和截面形貌,X射线衍射仪(XRD)表征膜层的晶体结构,采用中性盐雾试验测试膜层的耐盐雾腐蚀性能,研究循环氩离子轰击对铝膜层形貌、结构及耐中性盐雾腐蚀性能的影响.结果表明:与相同厚度的单层铝膜相比,3个周期的多层铝膜晶粒均匀细小,膜层的柱状晶结构被打断,内部形成了两个明显的界面;膜层沿(111)晶面择优生长;与厚度相同的单层Al膜相比,3个周期的多层Al膜的耐蚀性显著提高,其耐中性盐雾腐蚀时间可达到312 h.循环氩离子轰击铝膜的方法可以改善铝镀层的质量和耐盐雾腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代明江		4	17	3.0	4.0
2	侯惠君		2	9	1.0	2.0