不同金属基体上W-C:H溅射薄膜的摩擦学性能

• 作者: 周晖 张延帅 杨拉毛草 翟广泉 郑军
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 工学
• 关键词: W-C:H薄膜 摩擦学 PEPE润滑脂 力学性能 非平衡磁控溅射
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 新材料新工艺
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 3566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2015.01.015

摘要

采用非平衡磁控溅射技术在40Cr、9Cr18、GCr15、TC4及LY12等5种金属基体上沉积了钨掺杂含氢类金刚石(W-C:H)薄膜.采用Raman光谱仪、扫描电子显微镜、纳米硬度计及纳米划痕仪分别测试了薄膜的微结构、厚度、硬度及附着力,采用球-盘摩擦试验机及光学轮廓仪分别在干摩擦和PFPE脂润滑条件下评价了5种金属材料基体上薄膜的摩擦磨损性能.薄膜性能测试结果显示,该厚度为1μm的薄膜具有典型的类金刚石结构,硬度与弹性模量分别为11.56和128.34 GPa,附着力为645 mN;摩擦试验结果显示,在干摩擦条件下几种金属基体表面W-C:H薄膜的摩擦因数和磨损率差别比较显著,而在脂润滑条件下基体材料的影响较小;与干摩擦条件相比,脂润滑条件下薄膜的磨损可减少60％ ～75％;在干摩擦与脂润滑条件下,9Cr18与40Cr基体上的W-C:H薄膜摩擦体系分别具有最小的磨损率1.71×10-7 mm3/(N·m)及4.55×10-8 mm3/(N·m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周晖	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	30	70	5.0	5.0
2	郑军	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	17	85	5.0	9.0
3	杨拉毛草	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	8	19	4.0	4.0
4	张延帅	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	10	24	4.0	4.0
5	翟广泉		1	1	1.0	1.0