光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计

• 作者: 步扬 王向朝 蔡燕民 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 成像系统 傅里叶变换物镜 正弦条件 畸变
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 316-322
• 页数: 7页
• 分类号: O439|TB851
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0416001

摘要

浸液光刻投影物镜的数值孔径目前已经达到1.35,这对与之匹配的照明系统光瞳测量提出了十分苛刻的需求,为此设计了一种用于照明光瞳测量的傅里叶变换物镜.分析了傅里叶变换物镜应该满足的畸变要求,并针对照明光瞳测量实际需求分析了傅里叶变换物镜的正弦条件偏离的阈值,采用对不同视场角预留不同负畸变值的方法,实现了一种傅里叶变换物镜光学设计,采用5块透镜、1种光学材料,满足照明光瞳测量对正弦条件偏离阈值的要求,成像质量接近衍射极限,并对傅里叶变换物镜逆向光路也进行了分析计算.通过傅里叶变换物镜光学设计的具体实例,证实了通过对不同视场角预留不同负畸变值设计方法的有效性,利用该方法可以获得满足实际照明光瞳测量要求的傅里叶变换物镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
2	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
3	步扬	中国科学院上海光学精密机械研究所	37	199	7.0	14.0
4	蔡燕民	中国科学院上海光学精密机械研究所	13	257	7.0	13.0