p型ZnO薄膜的研究进展

• 作者: 于颖 刘凌鸿 文俊伟 李剑 王丽军 王小平
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 制备工艺 掺杂 p型电导
• 年，卷（期）: 2015,（23）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 6538字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.023.003

摘要

ZnO材料以其优良的光电特性和相对低廉的成本而倍受人们的青睐,但是要获得高质量的p型ZnO薄膜难度极大,这已成为阻碍ZnO基光电器件走向实用化的主要障碍.综述了p型ZnO薄膜掺杂面临的困难、p型ZnO掺杂理论进展及实现p型ZnO薄膜的各种掺杂方法,并对p型ZnO薄膜的各种制备工艺方法进行了概括和比较,最后指出了提高p型ZnO薄膜质量的努力方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于颖	上海理工大学理学院	9	50	4.0	7.0
2	王小平	上海理工大学理学院	34	376	7.0	19.0
3	王丽军	上海理工大学理学院	34	376	7.0	19.0
4	李剑	上海理工大学理学院	13	28	4.0	4.0
5	文俊伟	上海理工大学理学院	3	11	2.0	3.0
6	刘凌鸿	上海理工大学理学院	4	12	2.0	3.0