ZnO薄膜的制备和研究进展

• 作者: 赵玉岭
• 来源期刊: 信阳师范学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 紫外受激发射 p型掺杂
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述·评论·争鸣
• 页码范围: 344-345,361
• 页数: 3页
• 分类号: O434|O484.4
• 字数: 1916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0972.2005.03.030

摘要

ZnO作为一种新型的宽禁带半导体材料,具有很好的化学稳定性和热稳定性,抗辐射损伤能力强,在光电器件、压电器件、表面声波器件等诸多领域有着很好的应用潜力.本文介绍了ZnO薄膜的基本性质以及喷雾热分解、脉冲激光沉积、金属有机物化学气相沉积等制备ZnO薄膜的技术和方法,并着重介绍了在ZnO紫外受激发射和p型掺杂等方面的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉岭	郑州师范高等专科学校物理系	9	88	2.0	9.0