可控阴极弧制备的梯度及调制多层CrN/Cr薄膜的组织结构和力学性能研究

• 作者: 刘星 孙刚 王明娥 马国佳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 梯度 调制 CrN/Cr薄膜 力学性能 耐磨性能
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1489-1494
• 分类号: TG17
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.12.16

摘要

采用可控阴极弧的沉积方法在GCr15基体上制备了梯度和调制多层结构的氮化铬/铬(CrN/Cr)薄膜,对不同的CrN/Cr薄膜的组织结构、力学性能和耐磨性能进行了研究.通过扫描电镜、能量散射谱、X射线衍射、纳米压痕、划痕试验、微摩擦磨损测试仪及形貌测试仪对薄膜的组织结构、成份、力学性能、结合强度及耐磨性能进行了分析.结果表明:制备的薄膜厚度约5.5 μm,梯度结构及调制多层CrN/Cr薄膜呈现明显的立方CrN(111)(200)取向,薄膜力学性能(包括硬度,模量,结合强度等)及耐磨性能均与不同的结构及调制周期相关.梯度结构的CrN/Cr薄膜硬度达到25 GPa,结合强度55 N,磨损率为32.754×10-6 mm3/N·m,力学及耐磨性能明显优于其它多层结构,说明梯度结构可有效地改善CrN/Cr薄膜的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙刚	高能束流加工技术重点实验室北京航空工程研究所	4	18	3.0	4.0
2	刘星	高能束流加工技术重点实验室北京航空工程研究所	4	18	3.0	4.0
3	马国佳	高能束流加工技术重点实验室北京航空工程研究所	5	18	3.0	4.0
4	王明娥	高能束流加工技术重点实验室北京航空工程研究所	1	3	1.0	1.0