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摘要:
采用微波CVD系统研究了Ar-CO2-CH-4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响.结果表明:以Ar-CO2-CH4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-Ct4组分中添加CO2可明显提高金刚石膜的沉积速率,但采用该气源组分能够得到致密金刚石膜的气源组成范围很窄.其原因和控制方式有待深入研究.
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文献信息
篇名 微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜
来源期刊 稀有金属材料与工程 学科
关键词 超纳米金刚石 微波化学气相沉积 Raman分析 原子力显微镜 沉积速率
年,卷(期) 2015,(12) 所属期刊栏目 材料科学
研究方向 页码范围 3009-3013
页数 5页 分类号
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
超纳米金刚石
微波化学气相沉积
Raman分析
原子力显微镜
沉积速率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属材料与工程
月刊
1002-185X
61-1154/TG
大16开
西安市51号信箱
52-172
1970
chi
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15
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