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微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜
微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜
作者:
丰杰
余志明
吴先哲
李周
梅军
盛景恺
祁尧
胡东平
马莉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
超纳米金刚石
微波化学气相沉积
Raman分析
原子力显微镜
沉积速率
摘要:
采用微波CVD系统研究了Ar-CO2-CH-4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响.结果表明:以Ar-CO2-CH4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-Ct4组分中添加CO2可明显提高金刚石膜的沉积速率,但采用该气源组分能够得到致密金刚石膜的气源组成范围很窄.其原因和控制方式有待深入研究.
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文献信息
篇名
微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜
来源期刊
稀有金属材料与工程
学科
关键词
超纳米金刚石
微波化学气相沉积
Raman分析
原子力显微镜
沉积速率
年,卷(期)
2015,(12)
所属期刊栏目
材料科学
研究方向
页码范围
3009-3013
页数
5页
分类号
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语种
中文
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2015(0)
参考文献(0)
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研究主题发展历程
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超纳米金刚石
微波化学气相沉积
Raman分析
原子力显微镜
沉积速率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属材料与工程
主办单位:
中国有色金属学会
中国材料研究学会
西北有色金属研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-185X
CN:
61-1154/TG
开本:
大16开
出版地:
西安市51号信箱
邮发代号:
52-172
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
12492
总下载数(次)
15
总被引数(次)
83844
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