CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析

• 作者: 弋英民 张潼
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 单晶硅 CZ法 电阻网络类比 低阶模型 模型预测控制
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 142-148,206
• 页数: 8页
• 分类号: O782+.5
• 字数: 4249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19322/j.cnki.issn.1006-4710.2016.02.003

摘要

CZ法硅单晶生长系统具有强非线性及大滞后的特点.本文就该系统建立了传热传质的低阶模型,计算了该模型在初始条件下的稳态解,并进行线性化处理及分析,根据系统的可控性及稳定性确定控制策略,并设计控制器.结果表明:在低阶模型中,采用Gevelber提出的简化辐射角系数能较好的反映工业中晶体生长过程特性;系统线性化后的性能分析表明,仅将加热器功率作为输入时,系统是不可控不稳定的,故采用模型预测控制算法作为控制策略,设计了无干扰无延迟的无约束模型预测控制器和无干扰有延迟的无约束模型预测控制器,仿真结果验证了所设计的方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弋英民	西安理工大学自动化与信息工程学院	24	189	7.0	13.0
2	张潼	西安理工大学自动化与信息工程学院	2	3	1.0	1.0