不同温度下砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀特性研究

• 作者: 余丙军 肖晨 金晨宁 钱林茂 高健
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 摩擦诱导选择性刻蚀 温度 砷化镓 AFM
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 475-480
• 分类号: TH117.1|TB321
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.2016.04.011

摘要

利用摩擦诱导选择性刻蚀的方法,可在砷化镓表面加工一系列的纳米结构;该纳米加工方法无需掩膜,且加工效率高、成本低,具有应用前景.为了进一步研究砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的特性,优化加工参数,本文作者在不同温度下利用H2SO4-H2O2溶液对砷化镓表面进行选择性刻蚀,考察了刻蚀后所形成的凸起高度及砷化镓表面粗糙度随刻蚀时间和刻蚀温度的变化规律,阐释了温度对砷化镓表面刻蚀的影响机制;最后从加工高度和表面粗糙度着眼,探讨了砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的最佳条件.本研究为砷化镓表面选择性刻蚀加工的条件优化提供了重要依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱林茂	西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所	22	124	7.0	10.0
2	余丙军	西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所	7	33	4.0	5.0
3	肖晨	西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所	2	1	1.0	1.0
4	金晨宁	西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所	2	1	1.0	1.0
5	高健	西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所	2	3	1.0	1.0