多层金刚石薄膜的制备研究

• 作者: 刘繁 汪建华 翁俊 陈义
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 研 究 报 告
• 页码范围: 350-353
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.06.08

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积法，以H2/CH4/CO2为混合气源，在Si基底上分别沉积了单层微米、纳米以及三层（膜层结构为微米层（MCD）/纳米层（NCD）/微米层（MCD））金刚石薄膜。利用Raman光谱、扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射（XRD）表征金刚石膜，以得到样品质量、表面形貌、晶粒尺寸等信息。结果表明：微米金刚石晶薄膜粒粗大，表面粗糙，纳米金刚石薄膜晶粒细小，表面平整，生长过程中控制反应参数，可以制备出多层金刚石膜，三层结构的引入，可以明显降低表面粗糙度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
3	翁俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
4	刘繁	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	22	74	4.0	8.0
7	陈义	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	7	2.0	2.0