全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究

• 作者: 胡晓霞 艾博 黄睿
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 探针台 传输系统 预对准
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 测试测量技术与设备
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TN307
• 字数: 1418字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种硅片传输系统的预对准算法,根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性,计算出圆心坐标和切边位置,实现硅片的预对准.经过实验验证,该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓霞	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	16	3.0	3.0
2	黄睿	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	5	1.0	2.0
3	艾博	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	4	1.0	2.0