基于激光干涉的三自由度测量系统的理论分析

• 作者: 杨练根 熊轩 王选择 翟中生 范宜艳 邬文俊
• 来源期刊: 武汉大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉 三自由度 位移与角度测量 条纹计数
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 动力与机械工程
• 页码范围: 132-136
• 分类号: TP271.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.14188/j.1671-8844.2016-01-023

摘要

为了克服激光沿原光路返回产生激光回馈效应的影响,提出了一种以组合三反射镜为目标载体的三自由度测量方法,即三平面镜组合方法.它不同于平面镜或角隅棱镜作为目标镜的方法,既能使反射光线与原光线错开一定距离,保证反射光不会沿原光路返回,又能使反射光线保留目标测量对象的偏转信息.在实际测量过程中,一方面由于测量位移范围较小,测量光束与参考光束在测量过程中错开很小,不会影响干涉条纹的产生.另一方面考虑工作台偏转角度一般很小,对干涉条纹形状的影响不会造成对干涉条纹计数的破坏.实验应用结果表明,该方法适用于运动位移与偏转角度的三自由度同步测量.