蓝宝石晶体生长真空工艺环境研究

• 作者: 张钦亮 苏静洪 金志杰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石晶体 泡生法真空 真空度
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 25-28,59
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3279字
• 语种: 中文

摘要

蓝宝石单晶因其优良的综合性能，近年来作为高亮度发光二极管(LED)的衬底材料和窗口材料等领域已经取得了较为广泛的应用。简述了蓝宝石晶体的几种重要生长方法，着重介绍了采用泡生法生长蓝宝石时，真空度对蓝宝石晶体生长的影响。