钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
大学学报期刊
\
河南理工大学学报(自然科学版)期刊
\
直流磁控溅射法制备γ-Al2O3薄膜的介电特性
直流磁控溅射法制备γ-Al2O3薄膜的介电特性
作者:
刘振深
杜保立
胡保付
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
直流磁控溅射
氧化铝薄膜
介电常数
高能量密度
摘要:
高密度储能电容器是当前研究的热点,为探究氧化铝薄膜在高密度电容器中潜在的应用,采用直流磁控溅射方法制备了氧化铝薄膜,薄膜质地均匀致密,表面平整光滑.X射线衍射谱分析表明制备的薄膜属于γ晶型的氧化铝.薄膜具有优良的介电性能,氧化铝薄膜电容器理论储能密度约为7.6 J/cm3.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
室温无反应磁控溅射法制备ZAO导电薄膜及其特性研究
直流磁控溅射
ZAO薄膜
电阻率
透光率
射频磁控溅射法制备硼薄膜
硼薄膜
射频磁控溅射
制备
形貌表征
成分分析
磁控溅射法制备CNx薄膜及其结构表征
碳化氮
薄膜
磁控溅射
结构表征
直流磁控溅射法制备含氦铝膜
磁控溅射
氦
弹性前冲散射分析
X射线衍射
热释放谱
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
直流磁控溅射法制备γ-Al2O3薄膜的介电特性
来源期刊
河南理工大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
直流磁控溅射
氧化铝薄膜
介电常数
高能量密度
年,卷(期)
2016,(3)
所属期刊栏目
基础学科
研究方向
页码范围
440-444
页数
5页
分类号
TB321|TB34
字数
3341字
语种
中文
DOI
10.16186/j.cnki.1673-9787.2016.03.025
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
胡保付
河南理工大学物理化学学院
8
25
2.0
5.0
2
杜保立
河南理工大学物理化学学院
11
22
3.0
4.0
3
刘振深
河南理工大学物理化学学院
4
5
2.0
2.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(8)
节点文献
引证文献
(2)
同被引文献
(8)
二级引证文献
(1)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2007(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2009(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2016(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2018(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
直流磁控溅射
氧化铝薄膜
介电常数
高能量密度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
河南理工大学学报(自然科学版)
主办单位:
河南理工大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-9787
CN:
41-1384/N
开本:
16开
出版地:
河南省焦作市世纪大道2001号
邮发代号:
3891
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
3451
总下载数(次)
5
总被引数(次)
20072
期刊文献
相关文献
1.
室温无反应磁控溅射法制备ZAO导电薄膜及其特性研究
2.
射频磁控溅射法制备硼薄膜
3.
磁控溅射法制备CNx薄膜及其结构表征
4.
直流磁控溅射法制备含氦铝膜
5.
溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比
6.
射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究
7.
磁控溅射法制备Al2O3复合高铝玻璃薄膜
8.
靶材密度对射频磁控溅射法制备ITO薄膜性能的影响
9.
激光驱动飞片中Al2O3隔热层的制备研究
10.
射频磁控溅射法制备含银类钻碳薄膜的结构与性能
11.
掺杂对γ-Al2O3薄膜的改性研究
12.
磁控溅射法制备W1-xAlxN薄膜的微结构与性能
13.
介孔Al2O3/PVDF复合中空纤维膜的制备及其性能
14.
Al2O3不同掺杂方式对钛酸钡介电性能的影响
15.
等离子喷涂Al2O3涂层的介电性能
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
河南理工大学学报(自然科学版)2021
河南理工大学学报(自然科学版)2020
河南理工大学学报(自然科学版)2019
河南理工大学学报(自然科学版)2018
河南理工大学学报(自然科学版)2017
河南理工大学学报(自然科学版)2016
河南理工大学学报(自然科学版)2015
河南理工大学学报(自然科学版)2014
河南理工大学学报(自然科学版)2013
河南理工大学学报(自然科学版)2012
河南理工大学学报(自然科学版)2011
河南理工大学学报(自然科学版)2010
河南理工大学学报(自然科学版)2009
河南理工大学学报(自然科学版)2008
河南理工大学学报(自然科学版)2007
河南理工大学学报(自然科学版)2006
河南理工大学学报(自然科学版)2005
河南理工大学学报(自然科学版)2004
河南理工大学学报(自然科学版)2003
河南理工大学学报(自然科学版)2002
河南理工大学学报(自然科学版)2001
河南理工大学学报(自然科学版)2000
河南理工大学学报(自然科学版)1999
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第z2期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第z1期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第6期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第5期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第4期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第3期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第2期
河南理工大学学报(自然科学版)2016年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号