光刻机工件台自转电机控制系统设计

• 作者: 何良辰 刘洋 宋跃 张常江 强盛
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机工件台 圆光栅 自转电机
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 工业控制与应用
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2821字
• 语种: 中文

摘要

双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案.详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计.运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件,并定义信号传输协议.通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋	哈尔滨工业大学航天学院	131	784	15.0	21.0
2	强盛	哈尔滨工业大学航天学院	15	99	4.0	9.0
3	何良辰	哈尔滨工业大学航天学院	4	7	2.0	2.0
4	张常江	哈尔滨工业大学航天学院	7	9	2.0	2.0
5	宋跃	哈尔滨工业大学航天学院	6	7	2.0	2.0