光刻机双工件台控制系统任务调度设计

• 作者: 万勇利 陈兴林 韩记晓 魏凯
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 双工件台 VxWorks 任务 调度处理
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 行业应用与交流
• 页码范围: 129-134
• 页数: 6页
• 分类号: TP273+.3
• 字数: 4339字
• 语种: 中文

摘要

双工件台系统是光刻机控制系统的核心,在换台系统下工件台要实现两个工件台互换,换台过程复杂且需要宏动电机的配合,为了保证此过程的安全性又有很多的保护限制,过程中对于上位机的一些指令需要实时响应,这对光刻机控制系统的任务调度有很高的要求,既需要实时性,又需要调度的合理性.控制系统采用VxWorks嵌入式实时操作系统,在VxWorks中进行任务调度处理,控制整套系统的执行.本文介绍一种在双工件台系统中使用VxWorks嵌入式操作系统进行任务调度的设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	万勇利	哈尔滨工业大学航天学院	6	13	3.0	3.0
3	韩记晓	哈尔滨工业大学航天学院	5	10	2.0	2.0
4	魏凯	哈尔滨工业大学航天学院	12	58	2.0	7.0