基于输入整形器的公转电机振动抑制

• 作者: 万勇利 刘洋 张常江 陈兴林 韩记晓
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 公转电机 输入整形器 粒子群优化算法
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 电气传动
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TP13
• 字数: 2795字
• 语种: 中文

摘要

光刻机是超高精度控制系统,需要实现纳米级的运动与定位精度.而在光刻系统的换台过程中,公转电机处于核心位置,对其性能要求比较高,我们常用定位速度以及精度这些指标来衡量它的性能.但由于运动过程中,公转电机在快速定位时总会产生振动,从而影响其定位速度及精度.因此本文针对双工件台换台过程中公转电机的残留振荡,提出了一种基于粒子群优化算法的输入整形器,来提高公转电机的定位速度和精度,从而优化换台时间,缩短光刻机的硅片生产时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	刘洋	哈尔滨工业大学航天学院	131	784	15.0	21.0
3	万勇利	哈尔滨工业大学航天学院	6	13	3.0	3.0
4	韩记晓	哈尔滨工业大学航天学院	5	10	2.0	2.0
5	张常江	哈尔滨工业大学航天学院	7	9	2.0	2.0