化学气相沉积法制备石墨烯晶畴的氧气刻蚀现象研究

• 作者: 孟婷婷 李成程 王彬 王桂强
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 石墨烯 化学气相沉积 褶皱 刻蚀
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 1122-1125
• 页数: 4页
• 分类号: O793
• 字数: 2092字
• 语种: 中文

摘要

利用化学气相沉积法在抛光铜衬底上制备出六角形石墨烯晶畴,并对石墨烯晶畴进行氧气刻蚀.刻蚀完成后,利用光学显微镜和扫描电子显微镜观察到石墨烯晶畴表面的褶皱被刻蚀成网络状和短线状形貌的刻蚀条纹,并且刻蚀条纹的密度分布差异较大.通过电子背散射衍射测试证明了铜衬底的晶向与褶皱的形貌和密度分布有密切关系,不同的铜衬底晶向会影响褶皱的形貌和密度分布.通过改变刻蚀时间和刻蚀温度,发现刻蚀温度对石墨烯的氧气刻蚀具有更重要的影响,当刻蚀温度高于250 ℃时,刻蚀速率明显提高.这种氧气刻蚀方法,为观察石墨烯表面褶皱的形态和密度分布提供了一种便捷的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王桂强	渤海大学新能源学院	10	13	2.0	2.0
2	王彬	渤海大学新能源学院	7	10	2.0	3.0
3	孟婷婷	渤海大学新能源学院	2	2	1.0	1.0
4	李成程	渤海大学新能源学院	1	2	1.0	1.0