多晶硅铸锭红外探伤阴影问题浅析

• 作者: 明亮 段金刚 邱昊 陈国红
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 定向凝固 阴影 固液界面 铸造多晶硅
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 26-28,51
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1616字
• 语种: 中文

摘要

太阳能光伏产业多晶硅片大多来源于定向凝固多晶铸锭方法.定向凝固多晶硅锭中心区硅棒底部常出现阴影区域,对多晶硅锭的品质及铸锭得料率有一定的影响.经实验研究分析,中心硅锭底部出现阴影的原因是在晶体生长初期,打开隔热笼,边角长晶速度相对比中心长晶速度快,固液界面呈"凹"状,熔体中杂质在硅锭中心底部沉积,造成硅锭红外探伤图上出现阴影.通过多晶铸锭炉热场结构的改进及工艺的优化,使得晶体生长初期边角长晶速度变慢,固液界面的"凹"度变小,甚至使固液界面变平或微"凸",底部杂质向硅锭四周扩散,可消除多晶硅锭中心区硅棒阴影.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈国红		7	27	4.0	5.0
3	明亮		6	5	1.0	2.0
5	邱昊		4	4	1.0	2.0
7	段金刚		6	4	1.0	2.0