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集成电路的超净化生产
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摘要：
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超深亚微米集成电路可靠性技术
超深亚微米集成电路
可靠性
高k栅介质
金属栅
Cu/低k互连
集成电路厂房洁净室暖通设计研究
集成电路
厂房洁净室
暖通设计
超深亚微米集成电路互连线几何变异提取方法
互连线
几何变异提取
可制造性设计
参数成品率
测试结构
国外超大规模集成电路的生产状况
超大规模集成电路
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主办单位：
科学24小时杂志社
浙江教育报刊总社
浙江科技报社
出版周期：
月刊
ISSN：
1002-7394
CN：
33-1072/N
开本：
16开
出版地：
杭州市西湖文化广场省科技馆东门办公区6楼
邮发代号：
32-20
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
6442
总下载数（次）
6
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683
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